パッドの目つまりを改善し、研磨品質と加工効率を向上
ミレークHL スラリー品への切替事例
導入の背景・課題
研磨工程において、
・パッドの目詰まりによる研磨抵抗の増加
・研磨熱の発生
・研磨キズの発生
が課題となっていました。
また、研磨効率の向上と工程全体の最適化も求められていました。
提案内容
ミレークを用いた研磨条件をご提案し、既存工程との比較評価を実施しました。
パッド表面の状態を改善することで、研磨条件の安定化を図りました。
導入後の効果
評価の結果、
・パッドの目詰まりを改善
・研磨抵抗・研磨熱を低減
・研磨キズの減少を確認
することができました。
さらに、シリカ系スラリーと比較して高い研磨レートが得られたため、
・シリカ工程の負荷軽減
・研磨時間の短縮
・生産性向上
につながる可能性が確認されています。
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